碳化硅
碳化硅的内容主要涉及其化学成分、晶体结构、制备方法以及应用领域等方面。碳化硅由纯硅和纯碳组成,具有多种晶体结构,如4H-SiC、6H-SiC和3C-SiC等。其中,4H-SiC综合性能佳,是目前商品化程度广、技术成熟的第三代半导体材料。碳化硅的制备方法包括Lely法、化学气相沉积等,这些方法都需要大量的能源、设备和知识才能成功。
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